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2006
Journal Article
Titel
Mikrofügen mit Laserstrahlung
Abstract
Miniaturisierte und hochintegrierte Bauelemente mit besonderen Anforderungen an thermische Belastung und Bauteilbeeinflussung erfordern innovative Fügeverfahren, die den Anforderungen an kurze Taktzeiten und minimaler Fügegeometrie gerecht werden. Hinzu kommt ein steigender Materialmix, dem mit klassischen Fügetechnologien nicht mehr begegnet werden kann. Die Laser-Mikrofügetechnik bietet hier mit neuen kompakten Strahlquellen, z. B. Faserlasern und innovativen Prozessvarianten, Lösungen, mit denen artungleiche Werkstoffkombinationen mit einem Minimum an Energieeintrag bei kurzen Fügezeiten im Millisekunden-Bereich erzeugt werden können. Schmelzefreie Prozessvarianten, wie das Laserbonden, ermöglichen hier sogar die Verbindung von Glas und Glas/Silizium-Komponenten ohne sichtbare Fügezone.