Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Nanoporous thin films made by atomic layer deposition and molecular layer deposition

Applications as antireflection coatings and for encapsulation of optical gratings
Nanoporöse dünne Schichten mittels Atomlagenabscheidung und Moleküllagenabscheidung
 
: Ghazaryan, L.

Jena, 2017, 140 pp.
Jena, Univ., Diss., 2017
English
Dissertation
Fraunhofer IOF ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-509745.html