Fraunhofer-Gesellschaft

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Multiskalige Messstrategien für die Mikrosystemtechnik

 
: Regin, J.; Neher, J.; Pannekamp, J.; Westkämper, E.; Wiesendanger, T.; Osten, W.

Beyerer, J. ; VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf:
Informationsfusion in der Mess- und Sensortechnik
Karlsruhe: Universitätsverlag Karlsruhe, 2006
ISBN: 3-86644-053-7
ISBN: 978-3-86644-053-1
pp.137-143
Expertenforum "Informationsfusion in der Mess- und Sensortechnik" <2006, Eisenach>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Meßstrategie; Mikrosystemtechnik; Messen; Meßverfahren; Prüfung; Oberflächenprüfung; Sensor

Abstract
Eine multiskalige Mess- und Prüfstrategie wird für mikrosystemtechnische Mess- und Prüfaufgaben entwickelt. Die Strategie kombiniert Messverfahren unterschiedlicher Auflösungsstufe für die Erfassung, Charakterisierung und Prüfung von geometrischen und nicht-geometrischen funktionsrelevanten Kenngrößen. Der Mess- und Prüfablauf wird dynamisch gesteuert, so dass aufwendige Messverfahren lediglich auf kritischen Bereichen angewendet werden. Der Übergang von grob- zu feinskaligen Messverfahren wird durch Indikatorfunktionen unterstützt, die Hinweise auf mögliche Fehlstellen liefern. Ein Versuchsaufbau wurde erstellt, um die Strategie anhand des Andwendungsbeispiels Kontaminationskontrolle umzusetzen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-50932.html