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Artikel
Vakuum-Bonding-Technologie für langzeitstabile Drehratensensoren
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2006
Journal Article
Titel
Vakuum-Bonding-Technologie für langzeitstabile Drehratensensoren
Author(s)
Reinert, W.
Zeitschrift
MikroSystemTechnik : MST
DOI
10.24406/publica-fhg-210895
File(s)
001.pdf (23.62 KB)
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT