Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Standardization of integrated ellipsometry for semiconductor manufacturing

 
: Roeder, G.; Schellenberger, M.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Richter, U.; Stehle, J.L.; Piel, J.-P.

Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung -BAM-, Berlin; Arbeitskreis Ellipsometrie -AKE-:
4th Workshop Ellipsometry 2006. CD-ROM : 20 - 22 February 2006, Berlin, Germany; Conference Proceedings
Berlin, 2006
ISBN: 978-3-00-018751-3
Workshop Ellipsometry <4, 2006, Berlin>
English
Conference Paper
Fraunhofer IISB ()
ellipsometry; standardization

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-50198.html