Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Oberflächenmesstechnik zur Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen

 
: König, Niels

Sackewitz, Michael ; Fraunhofer-Allianz Vision:
Handbuch zur industriellen Bildverarbeitung. 3., vollst. überarb. und akt. Auflage : Qualitätssicherung in der Praxis
Stuttgart: Fraunhofer Verlag, 2017
ISBN: 978-3-8396-1226-2
ISBN: 3-8396-1226-8
pp.145-149
German
Book Article
Fraunhofer IPT ()
Fertigungsmesstechnik; Oberflächentechnik; optische Messtechnik

Abstract
Die Charakterisierung von Oberflächen kann unterteilt werden in die Form- und Konturmessung, welche sich im Bereich von Metern bis Millimetern bewegt, die Welligkeitsmessung im Bereich von Milli- bis Mikrometern sowie die Rauheitsmessung im Bereich von Mikro- bis Nanometern. Mikro- und Nanostrukturen bewegen sich in der Größenordnung meist zwischen Welligkeit und Rauheit und können daher meist ebenfalls mit Verfahren, die für die Rauheitsmessung entwickelt wurden, erfasst werden. Heute steht eine Reihe etablierter Verfahren zur Auswahl: Konfokale Mikroskopie, Fokus-Variation, Konfokal-chromatische Sensoren, Weißlichtinterferometrie, Taktile Systeme/Rasterkraftmikroskopie. Da taktile Systeme meist deutlich langsamer sind als optische Verfahren und nur zweidimensionale Daten liefern, werden in diesem Beitrag die optischen Systeme betrachtet.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-499988.html