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Oberflächen- und Schichtcharakterisierung bei der Herstellung von Dünnfilm-NiCr-Widerständen
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1999
Journal Article
Titel
Oberflächen- und Schichtcharakterisierung bei der Herstellung von Dünnfilm-NiCr-Widerständen
Author(s)
Töpper, M.
Scherpinski, K.
Krause, F.
Halser, K.
Ehrmann, O.
Scheel, W.
Reichl, H.
Zeitschrift
VTE
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM