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Piezoelektrische ohmsche MEMS-Schalter mit bidirektionalem Antrieb und geringen Schaltzeiten

 
: Stoppel, F.; Lisec, T.; Wagner, B.; Benecke, W.

Saile, Volker (Chairman) ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
MEMS, Mikroelemente, Systeme. Proceedings CD-ROM : MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26. - 28. Oktober 2015 in Karlsruhe
Berlin: VDE-Verlag, 2015
ISBN: 978-3-8007-4100-7
pp.310-313
MikroSystemTechnik Kongress <6, 2015, Karlsruhe>
German
Conference Paper
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
In diesem Beitrag werden ohmsche MEMS-Schalter mit einem bidirektionalen Antrieb vorgestellt. Die Schalter basieren auf einem neuartigen Design-Konzept, mit dem sich selbst bei kleiner Baugröße hohe Kontaktkräfte sowie geringe Schaltzeiten realisieren lassen. Messungen haben bestätigt, dass die hergestellten Schalter extrem geringe Ein- und Ausschaltzeiten von unter 850 ns bzw. 240 ns aufweisen, welche in guter Übereinstimmung mit der Theorie liegen. Darüber hinaus zeichnen sich die Schalter durch sehr geringe Kontaktwiderstände von lediglich 260 mOmega aus und ermöglichen infolge des bidirektionalen Antriebs ein kontaktverschweißungs-freies Schalten selbst unter hoher Last.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-494280.html