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Design, Fabrikation und Charakterisierung piezoelektrisch angetriebener 2D Mikrospiegel für Rasterscanner

 
: Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.J.; Benecke, W.

Saile, Volker (Chairman) ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
MEMS, Mikroelemente, Systeme. Proceedings CD-ROM : MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26. - 28. Oktober 2015 in Karlsruhe
Berlin: VDE-Verlag, 2015
ISBN: 978-3-8007-4100-7
pp.77-80
MikroSystemTechnik Kongress <6, 2015, Karlsruhe>
German
Conference Paper
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
In dieser Arbeit wird ein neuartiger kardanisch aufgehängter und piezoelektrisch angetriebener 2D-Mikrospiegel vorgestellt. Der Mikrospiegel besitzt zwei senkrechte, voneinander entkoppelte Torsionsmoden mit Eigenfrequenzen von 23,9 kHz bzw. 1,5 kHz. Dabei kann die langsame Achse quasi-statisch angetrieben werden, sodass der Mikrospiegel zusammen mit der resonant betriebenen schnellen Achse einen kompletten Rasterscanner ermöglicht. Ein neuartiger Herstellungsprozess erlaubt einen integrierten Aufbau des Mikrospiegels mit geringen Chip-Abmessungen. Der totale optische Scanwinkel um die x-Achse erreicht 22Grad bei resonantem Antrieb, während der Scanwinkel um die y-Achse 13,7Grad bei statischem bzw. 31Grad bei resonantem Antrieb beträgt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-494159.html