Straightness measurement system with integrated beam position correction

Abstract
Moderne Geradheitsmeßgeräte nutzen unter anderem die geradlinige Ausbereitung von Laserstrahlen als Bezugsreferenz. Jedoch verursachen Effekte innerhalb des Lasers Strahllageschwankungen, welche die Meßergebnisse verfälschen. Das hier vorgestellte Verfahren mißt diese störenden Laserstrahlschwankungen während einer Geradheitsmessung und erlaubt somit eine Korrektur der fehlerhaften Meßwerte.

 

Modern straightness measurement systems use the straightness of laser beams as a reference. Internal effects within the laser affect the beam straightness and introduce measurement errors. The proposed correction system measures laser beam movement during the process and allows immediate correction of the measurement results.