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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Geradheitsmeßgerät mit interner Strahllagekorrektur
 
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1993
Journal Article
Title

Geradheitsmeßgerät mit interner Strahllagekorrektur

Other Title
Straightness measurement system with integrated beam position correction
Abstract
Moderne Geradheitsmeßgeräte nutzen unter anderem die geradlinige Ausbereitung von Laserstrahlen als Bezugsreferenz. Jedoch verursachen Effekte innerhalb des Lasers Strahllageschwankungen, welche die Meßergebnisse verfälschen. Das hier vorgestellte Verfahren mißt diese störenden Laserstrahlschwankungen während einer Geradheitsmessung und erlaubt somit eine Korrektur der fehlerhaften Meßwerte.

; 

Modern straightness measurement systems use the straightness of laser beams as a reference. Internal effects within the laser affect the beam straightness and introduce measurement errors. The proposed correction system measures laser beam movement during the process and allows immediate correction of the measurement results.
Author(s)
Pfeifer, Tilo
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT  
Lang, M.
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT  
Thiel, Jürgen
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT  
Journal
Technisches Messen : TM  
DOI
10.1524/teme.1993.60.5.192
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT  
Keyword(s)
  • Geradheitsmessgerät

  • Laserinterferometer

  • Strahllagekorrektur

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