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Messelement zur oberflächennahen Messung von physikalischen Größen, insbesondere von Temperaturen, in einer zumindest teilweise umschlossenen Kavität

 
: Kayatz, Fabian; Wendt, Gregor

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DE 102016204796 A1: 20160323
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IVV ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Messelement zur oberflächennahen Messung von physikalischen Größen in einer Kavität, das in die Wandung eines die Kavität zumindest teilweise umschließenden Hohlkörpers einsetzbar ist. Das Messelement weist ein elektrisch nichtleitendes Substrat oder ein mit elektrisch isolierendem Material beschichtetes Substrat, und eine auf eine dem Inneren der Kavität zugewandten, die Oberfläche der Kavität abbildenden Oberfläche des Substrats mittels Dünnschichtverfahren aufgebrachten, mit elektrisch leitenden Schichten gebildeten Messfläche zur Erfassung der zu messenden physikalischen Größe, und auf einer der Kavität abgewandten Oberfläche des Substrats aufgebrachte und mit den elektrisch leitenden Schichten der Messfläche elektrisch leitend verbundene Kontaktierungselemente auf. Das Messelement ist in der Wandung des die Kavität zumindest teilweise umschließenden Hohlkörpers so ausgebildet, dass die Messfläche des Messelements bündig zur Innenseite des Hohlkörpers angeordnet ist. Allein oder zusätzlich dazu kann das eine auf einer der Kavität abgewandten Oberfläche eines in die Kavität eingesetzte Übertragungselement, das in einem Formeinsatz angeordnet ist, mittels Dünnschichtverfahren aufgebrachte, mit elektrisch leitenden Schichten gebildete Messfläche zur Erfassung der zu messenden physikalischen Größe, und mit den elektrisch leitenden Schichten der Messfläche elektrisch leitend verbundene Kontaktierungselemente aufweisen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-487432.html