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Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Halbleiterbauelement

Method for producing a semiconductor component and semiconductor component
 
: Oppermann, Hermann; Zoschke, Kai; Manier, Charles-Alix; Wilke, Martin; Tekin, Tolga

:
Frontpage ()

DE 102016203453 A1: 20160302
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IZM ()

Abstract
Die Anmeldung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements (27). Das vorgeschlagene Verfahren umfasst ein Bereitstellen eines flächigen Trägers (4) mit einer Oberseite (6) und einer Unterseite (7), wobei der Träger (4) eine durchgehende Aussparung (5) aufweist, die zwischen der Oberseite (6) und der Unterseite (7) verläuft. In einem weiteren Schritt wird eine Halbleiteranordnung (8) bereitgestellt. Die Halbleiteranordnung (8) weist einen Halbleiterchip (10) auf, der an einer Unterseite (11) elektrisch und/oder optisch aktive Bereiche (12) umfasst. Anschließend wird die Halbleiteranordnung (8) in der Aussparung (5) angeordnet, derart dass eine Unterseite (9) der Halbleiteranordnung (8) und die Unterseite (7) des Trägers (4) in einer gemeinsamen Ebene verlaufen. Daraufhin wird die Halbleiteranordnung (8) mit einer Vergussmasse (17) so vergossen, dass die Halbleiteranordnung (8) mit dem Träger (4) stoffschlüssig verbunden wird. Die Halbleiteranordnung (8) bildet mit dem Träger (4) und der Vergussmasse (17) ein Halbleitersystem (18). Anschließend wird das Halbleitersystem (18) durch Schleifen von oben so ausgedünnt, dass eine Oberseite (6) des Trägers und eine Oberseite (22) der Halbleiteranordnung (8) in einer gemeinsamen Ebene verlaufen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-487408.html