Fraunhofer-Gesellschaft

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Focussed ion beam

Die "feine Klinge" der Materialanalyse
 
: Petersen, J.

:
Fulltext (PDF; )

Vakuum in Forschung und Praxis 30 (2018), No.1, pp.40-47
ISSN: 0947-076X
ISSN: 1522-2454
German
Journal Article, Electronic Publication
Fraunhofer IST ()

Abstract
Mit der Focussed Ion Beam Technik kann man auf kleinster Skala in nahezu jedes Material hineinschneiden und Strukturen unterhalb der Oberfläche direkt abbilden oder chemisch analysieren. Vorteil gegenüber einer herkömmlichen Querschliffpräparation ist vor allem die höhere Präzision, durch die sich selbst kleinste lokale Defekte untersuchen lassen. Die Anwendungsmöglichkeiten des fokussierten lonenstrahls reichen bis zur Erzeugung komplexer Nanostrukturen. Dieser Artikel behandelt die Funktionsweise, Einschränkungen sowie einige Anwendungsbeispiele aus der Materialanalytik.

 

With the focussed ion beam technique it is possible to sputter almost any material with nanometer scale accuracy and directly image or chemically analyze structures below the surface. The major advantage towards conventional cross-section polishing is the high precision which allows to investigate even the smallest local defects. Applications of the focused ion beam even extend to the generation of complex nano structures. This article describes the operational modes, limits and constraints of the method and gives application examples from the field of material analytics.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-487344.html