Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Heuristische Simulation der Plasma-Impedanz beim reaktiven Magnetron-Sputtern

 
: Pflug, A.; Siemers, M.; Szyszka, B.; Kappertz, O.; Nyberg, T.; Berg, S.; Severin, D.; Wuttig, M.

Ellmer, K. ; Forschungsverbund Sonnenenergie -FVS-:
TCO für Dünnschichtsolarzellen und andere Anwendungen III : Workshop ; 10. - 12.04.2005 in Freyburg / Unstrut, ForschungsVerbund Sonnenenergie (FVS)
Berlin, 2005
pp.160-166
Workshop "TCO-Schichten für Dünnschichtsolarzellen und andere Anwendungen" <2005, Freyburg/Unstrut>
German
Conference Paper
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-48574.html