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Konferenzschrift
Heuristische Simulation der Plasma-Impedanz beim reaktiven Magnetron-Sputtern
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2005
Conference Paper
Titel
Heuristische Simulation der Plasma-Impedanz beim reaktiven Magnetron-Sputtern
Author(s)
Pflug, A.
Siemers, M.
Szyszka, B.
Kappertz, O.
Nyberg, T.
Berg, S.
Severin, D.
Wuttig, M.
Hauptwerk
TCO für Dünnschichtsolarzellen und andere Anwendungen III
Konferenz
Workshop "TCO-Schichten für Dünnschichtsolarzellen und andere Anwendungen" 2005
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST