Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Integrating Philips' extreme UV source in the alpha-tools

 
: Pankert, J.; Apetz, R.; Bergmann, K.; Derra, G.; Janssen, M.; Jonkers, J.; Klein, J.; Krücken, T.; List, A.; Loeken, M.; Neff, W.; Probst, S.; Prummer, R.; Rosier, O.; Seiwert, S.; Siemons, G.; Vaudrevange, D.; Wagemann, D.; Weber, A.; Zink, P.; Zitzen, O.

:

Mackay, R.S. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Emerging lithographic technologies IX. Vol.1 : 1 - 3 March 2005, San Jose, California, USA
Bellingham/Wash.: SPIE, 2005 (SPIE Proceedings Series 5751)
ISBN: 0-8194-5731-0
pp.260-271
Conference "Emerging Lithographic Technologies" <9, 2005, San Jose/Calif.>
English
Conference Paper
Fraunhofer ILT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-48549.html