Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Ätzung von Nanostrukturen

 
: Hilleringmann, U.

Fahrner, W.:
Nanotechnologie und Nanoprozesse. Einführung und Bewertung. 2., bearbeitete und aktualisierte Auflage
Berlin: Springer Vieweg, 2017
ISBN: 978-3-662-48907-9 (Print)
ISBN: 978-3-662-48908-6 (Online)
ISBN: 3-662-48907-4
pp.174-197
German
Book Article
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-481575.html