Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Erweiterung konventioneller Bauelemente durch Nanotechniken

 
: Hilleringmann, U.; Horstmann, J.T.

:

Fahrner, W.:
Nanotechnologie und Nanoprozesse. Einführung und Bewertung. 2., bearbeitete und aktualisierte Auflage
Berlin: Springer Vieweg, 2017
ISBN: 978-3-662-48907-9 (Print)
ISBN: 978-3-662-48908-6 (Online)
ISBN: 3-662-48907-4
pp.243-256
German
Book Article
Fraunhofer ENAS ()

Abstract
Die Reduktion der Dimensionen in elektronischen Bauelementen führt einerseits zu leistungsfähigeren Transistoren, bewirkt andererseits aber auch statistische Fluktuationen in den Transistorparametern wie der Schwellenspannung oder der Steilheit. Zusätzlich treten bei tiefen Temperaturen neue Effekte auf, die noch nicht vollständig erklärt werden können. Die Auswirkung der Nanoskalierung auf Transistoren wird anhand gemessener Transistorparameter und Kennlinien diskutiert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-481545.html