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Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung (PE-CVD) von Multifunktionsschichten aus dem Precursorensystem Hexamethyldisiloxan/Sauerstoff

 
: Baier, M.P.

:
Fulltext ()

Stuttgart, 2016, 146 pp. : Ill.
Stuttgart, Univ., Diss., 2015
German
Dissertation, Electronic Publication
Fraunhofer IGB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-477228.html