Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Investigations on Parylene C for its integrability into MEMS

 
: Selbmann, F.; Baum, M.; Hecker, C.; Roscher, F.; Enderlein, T.; Wiemer, M.; Joseph, Y.; Otto, T.

Otto, T. ; Fraunhofer-Institute for Electronic Nano Systems -ENAS-, Chemnitz; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin:
Smart Systems Integration 2017 : International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems, 8 - 9 March 2017, Cork, Ireland
Auerbach /Vogtl.: Verlag Wissenschaftliche Scripten, 2017
ISBN: 978-3-95735-057-2
ISBN: 3-95735-057-3
pp.479-482
International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems <2017, Cork>
English
Conference Paper
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-473883.html