Fraunhofer-Gesellschaft

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Elektro-optische Charakterisierung von Ferninfrarot-Bildaufnehmern mittels Bauelementetest in der Serienproduktion

 
: Goller, Diana; Makhlouf, Mohamed; Utz, Alexander; Gendrisch, Lutz; Kolnsberg, Stephan; Vogt, Franz; Weiler, Dirk; Vogt, Holger

Verband Deutscher Elektrotechniker e.V. -VDE-, Berlin; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
MikroSystemTechnik Kongress 2017. Proceedings : MEMS, Mikroelektronik, Systeme, 23.-25. Oktober 2017 in München
Berlin: VDE Verlag, 2017
ISBN: 978-3-8007-4491-6
pp.468-471
MikroSystemTechnik Kongress <2017, München>
German
Conference Paper
Fraunhofer IMS ()
Bauelementetest; optischer Sensor

Abstract
Das Fraunhofer IMS entwickelt und produziert ungekühlte Ferninfrarot-Bildaufnehmer (IRFPAs = infrared focal plane arrays) auf Mikrobolometer Basis [1]. Die Herstellung der Mikrobolometer erfolgt in einem Post-Processing Schritt direkt auf einer Standard 0,35 μm CMOS Ausleseschaltung. Der wichtigste Parameter zur Charakterisierung von FIR-Bildaufnehmern ist die Noise Equivalent Temperature Difference (NETD). Die NETD ist als das Verhältnis des Sensor-Rauschens zu dessen Empfindlichkeit (Signal Transfer Function, SiTF) definiert. Dazu wurde als finale Abnahmemessung ein Bauelementetest eingeführt. Dieser wurde soweit automatisiert und optimiert, dass die resultierende Testzeit unter zwei Minuten liegt und die erreichbare Reproduzierbarkeit besser als 2 mK.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-473496.html