Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen

 
: Gommel, U.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigen unter reinen Bedingungen : Grundlagen, Praxis und Anregungen zur Qualitätssteigerung. Fraunhofer IPA Workshop, 20. und 21. September 2006, Stuttgart
Stuttgart, 2006
24 pp.
Workshop "Fertigen unter Reinen Bedingungen" <2006, Stuttgart>
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop)
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Reinraumtauglichkeit; Emissionsverhalten; Klassifizierung; Reinraum; Werkstoff; Teilchen; Reibung

Abstract
Zur Unterstützung der Industrie beim Aufbau von Fertigungsanlagen für kontaminationsempfindliche Mikrosysteme werden reinheitsgerechte Grund- und Aufbaumaterialien benötigt. Weltweit stehen keine Werkstofflisten zur Verfügung, so dass bei der Auswahl geeigneter Materialien rein auf optische und nicht wissenschaftlich abgesicherte Kriterien, angewiesen sind. Dem soll durch ein standardisiertes Prüfverfahren zur Beurteilung der Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen entgegengetreten werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-47234.html