Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik

Zur Erlangung und Gewährleistung der Reinheitsqualität müssen bei der Fertigung von Produkten, die empfindlich für Verunreinigungen verschiedenster Ausprägung sind, Produktumfeld sowie Prozesse reinheitsgerecht sein. Mit steigender Zahl der Branchen und Betriebe, die spezifische Verunreinigungen im Produktionsprozess wirtschaftlich beherrschen müssen, erhöht sich auch der Bedarf und das Angebot reinheitsfördernder sowie reinheitstauglicher Materialien und Betriebsmittel zu Produktionszwecken; beginnend bei der reinen Werkbank, über Reinstluftfilter bis hin zum "reinheitstauglichen" Transportsystem. In diesem Zusammenhang fordert der Markt zunehmend die praktikable, quantitave Beschreibung und Spezifizierung der Reinheitsmerkmale von Materialien und Betriebsmitteln als wesentliches technisches Leistungsmerkmal. Hierfür bedarf es einer objektiven Begutachtung, einer Qualifizierung der Materialien und Betriebsmittel. Dieser Vortrag erläutert die Merkmale und Zusammenhänge, die mit der Anwendung einer fundierten und standardisierten Vorgehensweise zur Beurteilung der Reinraumtauglichkeit von Betriebsmitteln unter reinen Bedingungen, verknüpft sind, zeit Defizite und Lösungsansätze auf und gibt einen Einblick in die Methoden zur Qualifizierung.