Fraunhofer-Gesellschaft

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Bestimmung von Pull-in-Parametern in nanoelektromechanischen Anordnungen

 
: Haase, J.

Elst, G. ; Informationstechnische Gesellschaft -ITG-; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen -IIS-, Außenstelle Entwurfsautomatisierung -EAS-, Dresden:
ANALOG '06. Entwicklung von Analogschaltungen mit CAE-Methoden mit dem Schwerpunkt Fertigungsgerechter und ausbeuteorientierter Entwurf robuster nanoelektronischer Schaltungen : Vorträge der 9. ITG/GMM-Fachtagung vom 27. bis 29. September 2006 in Dresden
Berlin: VDE-Verlag, 2006 (ITG-Fachbericht 196)
ISBN: 978-3-8007-2988-3
ISBN: 3-8007-2988-1
pp.39-44
Fachtagung Entwicklung von Analogschaltungen mit CAE-Methoden (ANALOG) <9, 2006, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IIS, Institutsteil Entwurfsautomatisierung (EAS) ()

Abstract
Das Pull-In-Verhalten ist von elektromechanischen Anordnungen bekannt. Es wird beispielsweise in Aktuatoren der Mikrosystemtechnik ausgenutzt. Beim Übergang zu Abmessungen im Nanometerbereich sind zusätzliche Kräfte zu berücksichtigen. Ein Beispiel sind die durch quantenmechanische Fluktuationen zu erklärenden Casimir-Kräfte. Die Regeln zur Beschreibung von Pull-In-Phänomenen ändern sich dadurch. Im Beitrag wird ein systematisches Vorgehen zur Bestimmung von Pull-In-Parametern vorgestellt und auf Beispiele für nanoelektromechanische Anordnungen angewendet.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-47102.html