Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Kontaminationsprozesse in der Ionenimplantation

Contamination processes in ion implantation
 
: Häublein, V.

Aachen: Shaker, 2006, 170 pp.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005
Erlanger Berichte Mikroelektronik, 2006,1
ISBN: 3-8322-4823-4
German
Dissertation
Fraunhofer IISB ()
Ionenimplantation; Kontamination

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-46482.html