Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Modeling and simulation

 
: Erdmann, A.

Rizvi, S.:
Handbook of photomask manufacturing technology
Boca Raton, Fla.: CRC, Taylor & Francis, 2005
ISBN: 0-8247-5374-7
pp.649-692
English
Book Article
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-46479.html