Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Strukturbreitenbestimmung für die sub 100nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung

Linewidth measurement for the sub 100nm-lithography with spectroscopic ellipsometry
 
: Weidner, A.

Aachen: Shaker, 2005, 182 pp.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005
Erlanger Berichte Mikroelektronik, 2005,4
ISBN: 3-8322-4678-9
German
Dissertation
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-46468.html