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Spiegel zur Reflexion von EUV-Strahlung in Strahlung im Spektralbereich zwischen 6 nm und 10 nm und optische Anordnung mit dem Spiegel

Mirror for reflecting EUV radiation in the spectral range between 6 nm and 10 nm and optical arrangement comprising the mirror
 
: Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy; Kaiser, Norbert; Wezyk, Alexander von; Bergmann, Klaus

:
Frontpage ()

DE 102015122300 A1: 20151218
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Es wird ein Spiegel (10) zur Reflexion von EUV-Strahlung im Spektralbereich zwischen 6 nm und 10 nm beschrieben, der mindestens eine auf einem Substrat (1) angeordnete oxidationshemmende Schicht (2) umfasst, die ein Lanthanoxid, ein Ceriumoxid, ein Thoriumoxid, ein Uranoxid oder diamantartigen Kohlenstoff aufweist. Weiterhin wird eine optische Anordnung (100) beschrieben, die eine EUV-Strahlungsquelle (11) und mindestens einem derartigen Spiegel (10) aufweist.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-461714.html