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VORRICHTUNG ZUR SCHNELLEN, QUANTITATIVEN, KONTAKTLOSEN TOPOGRAFISCHEN UNTERSUCHUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN ODER SPIEGELAEHNLICHEN OBERFLAECHEN
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Title
VORRICHTUNG ZUR SCHNELLEN, QUANTITATIVEN, KONTAKTLOSEN TOPOGRAFISCHEN UNTERSUCHUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN ODER SPIEGELAEHNLICHEN OBERFLAECHEN
Date Issued
2006
Author(s)
Lukacs, E.
Makai, J.
Riesz, F.
Szentpali, B.
Pfitzner, L.
Patent No
2001-4057
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=EP&NR=785145AW
Patenprio
HU 2001-4057 A: 20011002