Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

VORRICHTUNG ZUR SCHNELLEN, QUANTITATIVEN, KONTAKTLOSEN TOPOGRAFISCHEN UNTERSUCHUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN ODER SPIEGELAEHNLICHEN OBERFLAECHEN

 
: Lukacs, E.; Makai, J.; Riesz, F.; Szentpali, B.; Pfitzner, L.

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HU 2001-4057 A: 20011002
EP 2002-785145 AW: 20021001
WO 2002-EP11011 A: 20021001
EP 1434981 A1: 20040707
G01N0021
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-46165.html