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Mikrowellenplasmaquelle

Microwave plasma source, e.g. for producing particles in a gas phase to form nano particles, has a plasma chamber enclosed by a microwave resonator.
 
: Maeder, G.; Rogler, D.; Hopfe, V.; Krause, S.; Spitzl, R.

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DE 102004060068 A: 20041206
DE 2004-102004060068 A: 20041206
EP 2005-26467 A: 20051205
DE 102004060068 A1: 20060706
EP 1667199 A: 20060607
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IWS ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Mikrowellenplasmaquelle, bei der eine Plasmaquelle von einem Mikrowellen-Resonator umschlossen ist. Es ist Aufgabe der Erfindung, innerhalb einer Plasmaquelle ein homogeneres Plasma auszubilden und eine kuerzere, nahezu konstante Verweilzeit des gebildeten Plasmas innerhalb der Plasmakammer vor dem Austreiben aus der Plasmakammer zu erreichen. Erfindungsgemaess ist dabei an einer Stirnflaeche der Plasmakammer mindestens eine Plasmaaustrittsduese ausgebildet und eine Zufuehrung fuer ein Plasmagas vorhanden. In der Plasmakammer ist ein Plasmaformungselement angeordnet, mit dem das fuer die Plasmabildung nutzbare Innenvolumen der Plasmakammer reduziert ist.

 

EP 1667199 A UPAB: 20060703 NOVELTY - On a front side of a plasma chamber there is a plasma outlet nozzle (6) and a supply of plasma gas. In the plasma chamber there is a plasma-forming element (2), which reduces the plasma chamber's inner volume used for forming plasma. USE - As a microwave plasma source, e.g. for producing particles in a gas phase to form nano particles. ADVANTAGE - A more homogenous plasma is created inside a plasma chamber and a shorter, almost constant retention time is attained for the plasma created inside the plasma chamber before it is expelled from the plasma chamber.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-45982.html