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Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Rod-Array-Anordnung und Rod-Array-Anordnung

 
: Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Barth, Stephan; Eng, Lukas; Derenko, Susan

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Frontpage ()

DE 102015117834 A1: 20151020
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer FEP ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Rod-Array-Anordnung umfassend folgende Schritte: Ausbilden eines Schichtsystems auf einem starren Substrat, indem vom Substrat aufwärts betrachtet folgende Schichten nacheinander abgeschieden werden: eine Opferschicht, eine leitfähige Schicht, eine Aluminium-basierte Schicht; Anodisieren der Aluminium-basierten Schicht in einer Säure derart, dass sich eine poröse Aluminiumoxid-basierte Matrix ausbildet; teilweises Entfernen der Matrix derart, dass ein direkter Kontakt zwischen den Poren und der leitfähigen Schicht entsteht; Befüllen der Poren mit einem Rods bildenden Material; Entfernen der Matrix unter Ausbildung eines Rod-Arrays; Einbetten des Rod-Arrays in ein flexibles Trägermaterial; Ablösen des eingebetteten Rod-Arrays samt leitfähiger Schicht vom Substrat mittels Entfernen der Opferschicht. Zudem wird eine Rod-Array-Anordnung angegeben.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-455631.html