Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Piezoelektrische Aluminiumnitrid-Dünnschichten für mikroelektromechanische Systeme

 
: Stöckel, C.

:
Fulltext (PDF; )

Chemnitz, 2016, XI, 124, XL pp.
Chemnitz, TU, Diss., 2016
URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-215293
German
Dissertation, Electronic Publication
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-452759.html