Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Verfahren zum Erzeugen eines mikromechanischen Elements

 
: Neumeier, K.; Bollmann, D.

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DE 1998-19857741 A: 19981215
DE 1999-19927970 A: 19990618
WO 1999-EP7204 A: 19990920
EP 1999-948889 AW: 19990929
EP 1144976 B1: 20031015
G01L0013
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-45137.html