Fraunhofer-Gesellschaft

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Aufbau und Hermetisierung einer ultraflachen aufladbaren Mikrobatterie

 
: Marquardt, K.; Hahn, R.; Luger, T.; Reichl, H.

Zengerle, R. ; Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg
Berlin: VDE-Verlag, 2005
ISBN: 3-8007-2926-1
ISBN: 978-3-8007-2926-5
pp.33-36
Mikrosystemtechnik Kongress <2005, Freiburg>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZM ()
thin film encapsulation; battery; lithium-polymer; parylene; energy density

Abstract
Mit zunehmender Miniaturisierung elektronischer Systeme wächst auch die Nachfrage nach kleinen Energiespeichern. Da konventionelle kleine Batterien wie Knopfzellen und Foliebatterien starken Einschränkungen unterliegen, da sie sich nicht oder nur begrenzt kontaktieren und integrieren lassen und in kleiner Ausführung auch eine sehr geringe Energiedichte besitzen sind für den Einsatz in Mikrosystemen neue Ansätze nötig. Es wird ein neues Verfahren zum Aufbau und zur Verkapselung ultraflacher Batterien vorgestellt. Batteriefolien, wie sie auch in der Batterieindustrie gängig sind, wurden vereinzelt und auf ein Substrat laminiert. Die so erzeugten Batterielaminate wurden elektrisch getestet und mittels Dünnfilmbeschichtung verkapselt. Auf diese Weise konnten Batterien mit Abmessungen weniger Millimeter hergestellt werden. Die Verkapselung und Kontaktierung erfolgte mit Maskenprozessen in Nutzenfertigung. Entscheidend für die Lebensdauer der Batterie ist die hermetische Abdichtung gegen Luftsauerstoff und Feuchte. Untersuchungen zur Permeation insbesondere von Wasserdampf wurden durchgeführt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-45040.html