Fraunhofer-Gesellschaft

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Herstellung eines Mikroaktors auf der Basis lasergestützter Strukturierung von PVD-abgeschiedenen Bimetallstrukturen

 
: Lugscheider, E.; Bobzin, K.; Erdle, A.; Horn, A.; Pütz, U.; Kreutz, E.W.; Poprawe, R.

Produktion von Leiterplatten und Systemen : PLUS (2004), No.5, 7 pp.
ISSN: 1436-7505
German
Journal Article
Fraunhofer ILT ()

Abstract
Hier wird die Herstellung eines Mikroaktors auf Basis eines mittels Laser strukturiertem Bimetall-Elementes vorgestellt. Die Bimetallschichten werden als mehrlagiger Schichtverbund mit dem MSIP-PVD-Verfahren auf den aktortragenden Si-Substraten abgeschieden. Für das Bimetall-Element wird eine Kombination von Schichten mit niedrigem und Schichten mit hohem thermischen Ausdehnungskoeffizienten verwendet. Aufgrund der unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten können die strukturierten Schichten durch eine externe Aktivierung als reversibles Fügeelement eingesetzt werden. Die Schichten werden nachfolgend mittels Laser strukturiert. Durch ein kombiniertes Verfahren aus Abtragen mit gepulster Laserstrahlung und selektivem Ätzen von Silizium werden Gesenke zum Führen von Glasfasern hergestellt. Nachträglich wird das Bimetall mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung zu Aktor-Armen strukturiert. Mechanisch abgelöste Bimetallstrukturen sind gut beweglich. Die Eigenschaften des Bimetalls bleiben dabei selbst für Strukturen im Mikrometermassstab erhalten.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-44926.html