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Mikromechanisches Relais mit verbessertem Schaltverhalten

Micromechanical relay has second counter electrode region formed between contact piece and free end of moving element.
 
: Faul, R.; Drost, A.; Pradel, H.

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Frontpage ()

DE 2000-10023564 A: 20000516
EP 2000-121231 A: 20000929
EP 1156504 A2: 20011121
H01H0059
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IZM ()

Abstract
(A2) Die vorliegende Erfindung betrifft ein mikromechanisches Relais mit verbesserten Schalteigenschaften, bei dem der Kontaktbuegel zur Ueberbrueckung eines Schaltkontaktes beabstandet vom freien Ende eines einseitig eingespannten, mikromechanischen, beweglichen Biegebalkenelementes an diesem angeordnet ist. Beidseitig des Kontaktbuegels sind am beweglichen Element Steuerelektroden vorgesehen, die in Zusammenwirkung mit gegenueberliegenden Steuerelektroden am Substrat sowie entsprechenden Steuersignalen das Oeffnen und Schliessen des Kontaktes bewirken. Sowohl durch die beidseitige Anordnung der Steuerelektrodengebiete als auch die erweiterten und beispielsweise getrennten Ansteuerungsmoeglichkeiten der Steuerelektroden beidseitig des Kontaktbuegels bzw. der entsprechenden Steuerelektroden am Substrat laesst sich ein verbessertes Schaltverhalten erzielen. Die vorliegende Erfindung betrifft ein mikromechanisches Relais mit verbesserten Schalteigenschaften, bei dem der Kontaktbuegel zur Ueberbrueckung eines Schaltkontaktes beabstandet vom freien Ende eines einseitig eingespannten, mikromechanischen, beweglichen Biegebalkenelementes an diesem angeordnet ist. Beidseitig des Kontaktbuegels sind am beweglichen Element Steuerelektroden vorgesehen, die in Zusammenwirkung mit gegenueberliegenden Steuerelektroden am Substrat sowie entsprechenden Steuersignalen das Oeffnen und Schliessen des Kontaktes bewirken. Sowohl durch die beidseitige Anordnung der Steuerelektrodengebiete als auch die erweiterten und beispielsweise getrennten Ansteuerungsmoeglichkeiten der Steuerelektroden beidseitig des Kontaktbuegels bzw. der entsprechenden Steuerelektroden am Substrat laesst sich ein verbessertes Schaltverhalten erzielen.

 

EP 1156504 A UPAB: 20020213 NOVELTY - Electrode regions (1a), a moving element (10a) and a contact piece (5) are arranged so that base and counter electrode region lie opposite each other. A contact piece (5) is arranged on a moving element (10a), spaced apart from the free end. In a region (3) between the contact piece and the free end of the moving element, at least one second counter electrode region (3a) and an opposing second base electrode region (14) are formed. USE - For switching electrical current, e.g. at high frequencies. ADVANTAGE - The switching characteristics and contact resistance are improved.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-44890.html