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Leichtbaustrukturelement

Light structure e.g. for use as a scanner mirror, comprises a single body in which a number of parallel cylindrical hollow spaces are arranged so that they make up at least 40 percent of the volume.
 
: Risse, S.; Damm, C.; Harnisch, G.; Peschel, T.

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DE 2003-10323176 A: 20030522
EP 2004-400026 A: 20040519
EP 1480005 A1: 20041124
G01B0009
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Die Erfindung betrifft Leichtbaustrukturelemente, bei denen eine Grundflaeche und eine Deckflaeche zueinander gegenueberliegend angeordnet sind, wobei mindestens eine der Flaechen eine Funktionsflaeche darstellt. Sie sind im Wesentlichen aus einem einzigen Werkstoff hergestellt. Gemaess der gestellten Aufgabe sollen sie kostenguenstig hergestellt werden koennen, ueber lange Einsatzzeitraeume konstante mechanische und thermische Eigenschaften einhalten koennen. Dabei und innerhalb des erfindungsgemaessen Leichtbaustrukturelementes mehrere jeweils parallel zueinander ausgerichtete zylinderfoermige Hohlraeume ausgebildet. Sie koennen fuer optische Elemente, aber auch als Handhabungs- und Fixierelemente, die dann bevorzugt auch unter Vakuumbedingungen eingesetzt werden koennen.

 

EP 1480005 A UPAB: 20041223 NOVELTY - Light structural element made from a single material block has base and cover surfaces between which are a number of parallel cylindrical hollow spaces (1, 2) that go to make up at least 40 percent of the whole body. The body can be made from metal, metal alloy, ceramic, glass or glass ceramic. USE - Light structure e.g. for use as a scanner mirror or for use as a wafer mounting in different surface modification processes in vacuum installations. ADVANTAGE - The inventive structure is inexpensive to manufacture and has stable thermal and mechanical properties over long time periods.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-44852.html