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Title
Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von roehrchenfoermigen mikromechanischen Komponenten, insbesondere Gefaessprothesen
Date Issued
2001
Author(s)
Daaud, S.
Luethje, H.
Hertlein, G.
Patent No
2000-10007425
Abstract
Bei der Herstellung von roehrchenfoermigen mikromechanischen Komponenten, insbesondere sogenannten Stents, wird ein bestimmtes Muster (6) direkt auf ein dreidimensionales Modell, z. B. ein Roehrchen (2), fotolithographisch unter Verwendung einer Fotomaske belichtet, wobei das Roehrchen mit einem Fotolack (4) beschichtet ist. Das entsprechend nach der Belichtung praeparierte Roehrchen wird anschliessend geaetzt, sodass sich die gewuenschte Komponente bzw. der Stent ergibt. Die Belichtung des Fotolackes (4) des Roehrchens (2) erfolgt vorzugsweise ueber eine ebene Maske (14), die mit einer bestimmten Lineargeschwindigkeit (V) an dem Roehrchen (2) vorbeibewegt wird, wobei das Roehrchen mit einer auf diese Lineargeschwindigkeit (V) synchronisierten Drehgeschwindigkeit (R) um die Laengsachse gedreht wird, sodass sich bei einer linienfoermigen Belichtung des Fotolackes durch eine Belichtungseinrichtung (7) das bestimmte Muster (6) auf dem Fotolack (4) des Roehrchens (2) ergibt.
DE 10007425 A UPAB: 20020626 NOVELTY - Production of tubular micromechanical components, comprises: (i) coating a tube with a photolacquer; (ii) forming a pattern on the outer surface of the tube; (iii) simultaneously inserting figures; (iv) removing the exposed regions of the pattern; (v) providing the inside of the tube with an etch-resistant material; and (vi) etching the prepared tube. DETAILED DESCRIPTION - Production of tubular micromechanical components, comprises: (i) coating a tube with a photolacquer; (ii) forming a pattern on the outer surface of the tube using photolithography; (iii) simultaneously inserting figures in an exposure step; (iv) removing the exposed regions of the pattern which correspond to later openings; (v) providing the inside of the tube with an etch-resistant passivating material; and (vi) etching the prepared tube. The step of providing the tube with an etch-resistant passivating material is carried out before or after the step of coating the tube with a photolacquer. An INDEPENDENT CLAIM is also included for an apparatus for carrying out the process, comprising: (a) an exposure device (7) for exposing a pattern (6) to the photolacquer (4) of the tube (2); (b) a holder for holding the tube in a defined position relative to the exposure device; and (c) an etching device for etching the prepared tube. USE - Used as stents. ADVANTAGE - A geometric pattern is produced.
Language
de
Patenprio
DE 2000-10007425 A: 20000218