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Duennschichtwiderstand

Thin-film resistor using screen-printing and laser machining - overcomes effects of changes of materials properties by preventing current from flowing near edges of machined trimming slots
 
: Panzer, S.; Steinhauer, I.; Schiller, S.; Pfeil, G.

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Frontpage ()

DD 1983-257287 A2: 19831130
DE 1984-3442323 A: 19841120
DE 3442323 A1: 19850704
H01C0017
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer FEP ()

Abstract
Die Erfindung betrifft einen Duennschichtwiderstand bzw. ein Duennschichtwiderstandsnetzwerk, das auf allen Gebieten der Elektronik eingesetzt wird. Aufgabe der Erfindung ist es, unerwuenschte Einfluesse der Elektronenstrahlbearbeitung zu vermeiden. Erfindungsgemaess werden auf dem mit der Widerstandsschicht versehenen Substrat lithographisch Strukturelemente aufgebracht. Der Abgleich der Widerstaende erfolgt mittels Elektronen- oder Laserstrahl derart, dass die Strukturelemente zu Trimmbahnen oder Trimmelementen ergaenzt sind.

 

FR 2555800 A UPAB: 19930925 A resistive film (2) is deposited on an insulating substrate (1). Contact pads (3,5) pass current into and out of the film. Elements of the resistive film are removed by screen-print etching and by machining with laser or electron beams. A pattern of square-angled structuring elements (9) is screen printed onto the film along the pathways taken by the current. Trimming slots (10), defining the pathways, are machined along lines of structuring elements intersecting them uniformly mid-way along their bases. Material adjacent to the trimming slots is raised to a high temperature during machining and the temperature coefficient of resistance and resistivity values are altered as a result. The structuring elements cut-down current flow near the edges of machined lines to preserve stability of the resistance value. ADVANTAGE - The shortcomings of machining trimming-slots with laser beams are reduced. 1/3

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-44525.html