Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Regelung nicht-resonanter Mikrospiegel mit elektrostatischem Kammantrieb

Vortrag gehalten auf dem 51. Regeltechnischen Kolloquium, 15.-17.02.2017, Boppard
 
: Schroedter, Richard; Janschek, Klaus

2017, 27 Folien
Regeltechnisches Kolloquium <51, 2017, Boppard>
German
Presentation
Fraunhofer IPMS ()
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: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-442585.html