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Mikrostrukturierter Gassensor mit Steuerung der gassensitiven Eigenschaften durch Anlegen eines elektrischen Feldes

Integrated gas sensor, for measuring air pollutant concentrations, includes gas-sensitive resistance layer contacted by electrodes arranged on semiconductor body, and field electrode separated by insulating layer
 
: Doll, T.; Boettner, H.; Woellenstein, J.; Jaegle, M.; Lehmann, M.

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DE 2002-10210819 A: 20020312
DE 2002-10210819 A: 20020312
EP 2003-720328 AW: 20030312
WO 2003-EP2544 A: 20030312
DE 10210819 B4: 20040415
EP 1483571 A1: 20041208
G01N0027
G01N0027
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPM ()

Abstract
Die Erfindung beschreibt einen integrierten Gassensor mit einem Halbleiterkoerper, auf welchem eine von Elektroden (5) kontaktierte gassensitive Widerstandsschicht (4) angeordnet ist, unter welcher von einer Isolierschicht (3) getrennt mindestens eine Feldelektrode (2; 6) sitzt. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Isolierschicht (3) eine Dicke aufweist, die mindestens annaehernd kleiner gleich etwa dem 10-fachen der zu dieser Isolierschicht (3) entsprechenden Debye-Laenge L 

WO2003076921 A UPAB: 20040318 NOVELTY - Integrated gas sensor comprises a gas-sensitive resistance layer (4) contacted by electrodes (5) arranged on a semiconductor body (1), and a field electrode (2) separated by an insulating layer (3) arranged underneath the gas-sensitive resistance layer. DETAILED DESCRIPTION - Integrated gas sensor comprises a gas-sensitive resistance layer (4) contacted by electrodes (5) arranged on a semiconductor body (1), and a field electrode (2) separated by an insulating layer (3) arranged underneath the gas-sensitive resistance layer. The insulating layer has a thickness which is approximately less than or equal to 10 times the Debye length LD, in which LD = ( epsilon epsilon 0kT/q2N)1/2 (where T = temperature; epsilon = dielectric constant depending on the material; epsilon 0 = dielectric constant; k = Boltzmann constant; N = charge carrier concentration; and q = elementary charge). USE - Used for measuring air pollutant concentrations in the ppm and ppb regions e.g. in production and process measuring technology, in the car industry and in environmental technology. ADVANTAGE - The sensor is economical.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-44251.html