Verfahren zur Präparation einer Probe für die Mikrostrukturdiagnostik sowie Probe für die Mikrostrukturdiagnostik

Bei einem Verfahren zur Präparation einer Probe für die Mikrostrukturdiagnostik wird durch materialabtragende Bearbeitung an einem Probenkörper ein Probenabschnitt (PA) präpariert. Anschließend wird an dem Probenabschnitt ein Untersuchungsbereich erzeugt, welcher einen zu untersuchenden Zielbereich (ZB) umfasst. Das Verfahren beinhaltet folgende Schritte: Erzeugen einer den Zielbereich umfassenden Terrassenbildungszone (TBZ) an mindestens einer Oberfläche des Probenabschnitts, wobei zur Erzeugung der Terrassenbildungszone neben dem Zielbereich durch materialabtragende Strahlbearbeitung mindestens eine Kerbe (K) mit schräg zu der Oberfläche verlaufenden Flanken (F1, F2) erzeugt wird; und Abtragen von Material des Probenabschnitts (PA) im Bereich der Terrassenbildungszone (TBZ) mittels eines lonenstrahls (IB), welcher unter streifendem Einfall schräg zu einer Verlaufsrichtung der Kerbe (K) derart auf die Oberfläche eingestrahlt wird, dass der Zielbereich (ZB) in Einstrahlrichtung des lonenstrahls (IB) hinter der Kerbe liegt.