Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasma-Jets und Verfahren zur Oberflächenbehandlung

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Erzeugung eines Plasma-Jets mit zumindest einem Strömungskanal (2), welchem ein Arbeitsgas zuführbar ist und zumindest zwei Feldelektroden (31, 32, 34, 36), mit welchen im Strömungskanal (2) ein elektrisches Feld erzeugbar ist, wobei der Strömungskanal (2) durch zumindest ein Dielektrikum (10, 11) begrenzt ist, wobei die Vorrichtung weiterhin zumindest eine Passivelektrode (41, 42) enthält, welche kapazitiv an zumindest eine Feldelektrode (31, 32, 34, 36) gekoppelt ist.

The invention relates to a device (1) for generating a plasma jet, comprising at least one flow channel (2) to which a working gas can be supplied, and at least two field electrodes (31, 32, 34, 36) with which an electrical field can be generated in the flow channel (2), wherein the flow channel (2) is delimited by at least one dielectric material (10, 11), and the device also contains at least two passive electrodes (41, 42) which are capacitively coupled to each associated field electrode (31, 32, 34, 36). The invention also relates to a method for surface treatment, wherein a plasma jet generated by at least two field electrodes (31, 32, 34, 36) acts on a surface to be treated, and simultaneously a surface discharge acts at least on part of the surface supplied with the plasma jet.