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Sensorchip fuer einen Differenzdrucksensor mit beidseitigem Ueberlastschutz

Micro-mechanical differential pressure sensor, has two pressure measurement cavities linked by a channel and filled with incompressible liquid, with each covered by a membrane that deflects to enable pressure measurement.
 
: Lisec, T.; Merz, P.

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DE 2002-10249238 A: 20021023
DE 2002-10249238 A: 20021023
DE 10249238 A1: 20040513
G01L0013
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Beschrieben wird ein Sensorchip fuer einen Differenzdrucksensor, der ein Substrat mit einer ersten Ausnehmung aufweist, die von einer ersten Membran dichtend ueberdeckt ist. Der Sensorchip zeichnet sich dadurch aus, dass das Substrat eine zweite Ausnehmung aufweist, die von einer zweiten Membran dichtend ueberdeckt ist und ueber zumindest einen Kanal mit der ersten Ausnehmung in Verbindung steht, so dass zwei durch einen Kanal miteinander gekoppelte Kavitaeten gebildet werden, die mit einem inkompressiblen Fluid gefuellt sind, wobei die Membrane elektrisch leitfaehig oder leitfaehig beschichtet und elektrisch leitend mit einem ersten Kontakt verbunden sind und auf einer Grundflaeche jeder Ausnehmung wenigstens eine Elektrode angeordnet ist, die elektrisch leitend mit einem zweiten Kontakt verbunden ist.

 

DE 10249238 A UPAB: 20040611 NOVELTY - Micro-mechanical differential pressure sensor has a substrate with first and second recesses that are linked by a channel (11) and filled with an incompressible liquid. Both cavities (9a, 9b) are sealed with an inelastic membrane that is deflected by a pressure change but not stretched. An electrically conducting electrode (4a, 4b) is applied to the top of each membrane so that two capacitors are formed between the electrodes and the respective bottoms of each cavity. The electrodes are connected to contacts (5) that are connected to an evaluation circuit. DETAILED DESCRIPTION - When used, one cavity is connected to each of the differing pressures. USE - Micro-mechanical differential pressure sensor. ADVANTAGE - The inventive pressure sensor chip is relatively inexpensive to produce while being highly resistant to sudden pressure changes or pressure overloads.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-44199.html