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Bildsensorelement und Bildsensor

Sensor element for image sensor for visible optical signals has light-sensitive regions at surface of uppermost layer of wafer layer structure coupled to circuit parts provided by underlying layer.
 
: Bloss, H.; Ernst, J.; Gick, S.

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DE 2000-10025363 A: 20000523
DE 2000-10025363 A: 20000523
WO 2001-DE1943 A: 20010523
DE 10025363 A1: 20011220
H01L0027
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IIS ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Bildsensorelement und insbesondere ein CMOS-APS-Bildsensorelement mit einer lichtempfindlichen Flaeche und einem Schaltungsteil, der ferner einen Verdrahtungsteil zum Verbinden des Schaltungsteils nach aussen aufweist, wobei die lichtempfindliche Flaeche im Oberflaechenbereich des Bildsensorelements angeordnet ist und Bereiche von Schaltungs- und/oder Verdrahtungsteil unterhalb der lichtempfindlichen Flaeche angeordnet sind. Das erfindungsgemaesse Bildsensorelement ist aus mehreren Lagen aufgebaut, wobei die lichtempfindliche Flaeche im Oberflaechenbereich der obersten Lage angeordnet ist und die Bereiche von Schaltungs- und/oder Verdrahtungsteil jeweils in den Oberflaechenbereichen der darunterliegenden Lagen angeordnet sind. Dabei sind die einzelnen Lagen Teile von Halbleiter-Wafern. Die vorliegende Erfindung betrifft darueber hinaus einen aus derartigen Bildsensorelementen aufgebauten Bildsensor. Dadurch kann ein Bildsensor realisiert werden, der sowohl einen hohen optischen Fuellfaktor hat als auch die Realisierung einer komplexen Pixelelektronik zulaesst.

 

WO 200191455 A UPAB: 20020516 NOVELTY - The sensor element has a wafer layer structure with at least 2 lateral layers (3,4) provided by mechanically interconnected semiconductor wafers, the uppermost layer having a light-sensitive surface (20) with light-sensitive regions (1'), coupled via contact openings (5) with an underlying circuit part (7) and associated conductor paths (7a) provided by an underlying layer. DETAILED DESCRIPTION - Also included are INDEPENDENT CLAIMS for the following: (a) an image sensor; (b) a sensor for optical waves USE - The sensor element is used for detecting visible optical signals in an image sensor or an optical sensor. ADVANTAGE - The sensor element has a high optical filling factor.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-44104.html