Fraunhofer-Gesellschaft

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Systemintegration optoelektronischer Baugruppen auf keramischen Substraten

 
: Beckert, E.; Eberhardt, R.; Wippermann, F.

Scharff, P. ; TU Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau:
Mechanical engineering from macro to nano. 50. IWK, 19. - 23.09.2005 ; IMEKO 21. - 24.09.2005 ; AMAM 25. - 30.09.2005. Tagungsunterlagen
Ilmenau: Technische Universität Ilmenau, 2005
ISBN: 3-932633-99-7
ISBN: 3-932633-98-9
pp.55-56
Internationales Wissenschaftliches Kolloquium <50, 2005, Ilmenau>
German
Conference Paper
Fraunhofer IOF ()
Optoelektronik; Systemintegration; Laser; Keramik; Mikromontage

Abstract
Der Beitrag stellt ein auf ebenen Keramiksubstraten basierendes Aufbaukonzept für optoelektronische Systeme vor, das die Integration von Optik, Elektronik und Baulementen der Siziliummikromechanik zum Aufbau hybrider multifunktionaler Systeme erlaubt. Dazu werden die keramischen Substrate mechanisch so strukturiert, dass die entstehenden, im Substrat integrierten Geometrien zum Fassen optischer Bauelemente genutzt werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-43867.html