Simulation von Rissbildung und Verzug in der Mikroelektronik

Ein wesentlicher Prozessschritt bei der Herstellung von keramischen Mehrlagenschaltungen ist das Sintern. Beim Sintern bildet sich unter dem Einfluss hoher Temperatur aus dem vorgeformten Grünling das feste Bauteil. Die treibende Kraft für das Zusammenwachsen der Pulverteilchen und die Verdichtung des Werkstoffs resultiert aus der großen Energie der Teilchenoberflächen. Zur Verdichtung des Werkstoffs werden verschiedene physikalische Mechanismen genutzt, die man als Festphasen- und Flüssigphasensintern klassifizieren kann. Detail sind z.B. bei German ausführlich beschrieben.