Fraunhofer-Gesellschaft

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Untersuchungen an ebenen aerostatischen Gaslagerelementen für hochvakuumtaugliche Präzisionsführung

 
: Schenk, C.; Risse, S.

Scharff, P. ; TU Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau:
Mechanical engineering from macro to nano. 50. IWK, 19. - 23.09.2005 ; IMEKO 21. - 24.09.2005 ; AMAM 25. - 30.09.2005. Tagungsunterlagen
Ilmenau: Technische Universität Ilmenau, 2005
ISBN: 3-932633-99-7
ISBN: 3-932633-98-9
pp.63-64
Internationales Wissenschaftliches Kolloquium <50, 2005, Ilmenau>
German
Conference Paper
Fraunhofer IOF ()
Gaslager; Luftlager; Vakuum; analytisches Modell; Absaugung

Abstract
Für vakuumangepasste ebene aerostatische Düsenlagerelemente mit Mikroverteilerstrukturen wird der signifikante Einfluss des Drosselquerschnittes auf die Lagereigenschaften und die Vakuumtauglichkeit der Lagerelemente nachgwiesen. Ein analytisches Modell, dass die Abströmverhältnisse im Vakuum berücksichtigt, wird mittels experimenteller Untersuchnugen verifiziert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-43705.html