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2005
Journal Article
Title
Diamantwerkzeuge für die Fertigung von mikrooptischen Bauelementen
Abstract
Das Potenzial der Ultrapräzisionsbearbeitung mit Diamant wird insbesondere vor dem Hintergrund der stetig wachsenden Anforderungen aus dem Optidesign interessant. Dabei erlaubt das Diamantdrehen eine flexible Fertigung von Mikrogeometrien mit Strukturbreiten ab wenigen Mikrometern und Strukturtiefen bis in den Submikrometerbereich, so dass sich diese Technologie, in Ergänzung zu lithografischen Verfahren eine Vielzahl neuer Applikationen erschließt.
Language
German
Keyword(s)