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Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen mikromechanischen Bauteils

 
: Senger, Frank; Hofmann, Ulrich; Kaden, Dirk

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Frontpage ()

DE 102015213714 A1: 20150721
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Es wird ein mikromechanisches Bauteil mit einem Schichtaufbau aus mindestens einem Substrat (10), einer ersten leitfähigen Schicht (11) einer piezoelektrisch aktiven Schicht (12) und einer zweiten leitfähigen Schicht (13), wobei die erste und zweite leitfähige Schicht (11, 13) Elektroden für die piezoelektrisch aktive Schicht (12) bilden, vorgeschlagen. Das Substrat (10) ist gleichzeitig eine mechanische Funktionsschicht als Träger für die piezoelektrisch aktive Schicht und ist ausgebildet, sich gleichzeitig mit der piezoelektrisch aktiven Schicht (12) zu verformen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-435327.html