Anordnung zur Bestimmung der Permeationsrate einer Probe

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Bestimmung der Permeationsrate einer Probe für mindestens einen Permeaten, insbesondere Wasserdampf, bei der mehrere Detektoren, die zur ortsaufgelösten spektralen Analyse elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines Wellenlängenintervalls ausgebildet sind, in einer Reihen oder einer Reihen- und Spaltenanordnung angeordnet sind. Die Detektoren sind mit einer elektronischen Auswerteeinheit verbunden und so angeordnet, dass von einer breitbandigen Strahlungsquelle emittierte elektromagnetische Strahlung entweder nach einer Reflexion an der Oberfläche der Probe, einer auf der Probe ausgebildeten Schicht oder an der Oberfläche einer Schicht innerhalb der Probe und/oder nach dem Durchstrahlen einer für die elektromagnetische Strahlung transparenten Probe auf die Detektoren auftrifft. Die Bestrahlung erfolgt so, dass auf einer Fläche, von der die elektromagnetische Strahlung reflektiert oder durch die Fläche transmittiert wird, eine lateral und zeitlich homogene Intensität der elektromagnetischen Strahlung eingehalten ist. Die elektronische Auswerteeinheit ist so ausgebildet, dass die orts- und wellenlängenaufgelöst erfassten Messsignale der Detektoren innerhalb eines Wellenlängenintervalls für einzelne Ortspunkte, die auf einer vorgebbaren Fläche der Probe angeordnet sind, erfassbar sind. Die dabei an mehreren Positionen erfassten Messsignale werden jeweils einem Teilbereich der detektierten Fläche (Hypercube) zugeordnet und für alle wellenlängenaufgelöst erfassten Messsignale der Teilbereiche der detektierten Fläche eine Datenreduzierung durgeführt werden, bei der aussagekräftige Merkmale selektiert werden und anhand dieser selektierten Merkmale mit in einem elektronischen Speicher abgelegten vorab ermittelten Regressionsmodells, welches anhand der in analoger Weise erhaltenen Merkmalssätzen von Proben, deren Permeationsrate mit einem anderen Messverfahren, das eine höhere Messgenauigkeit aufweist, ermittelt worden sind, eine Aussage über eine dementsprechende Permeationsrate erreichbar ist.